顕微加工観測装置

研究分野 材料?部品の分析評価
機器番号 6
設備名 顕微加工観測装置
規格 日本電子(株) JEM-9320FIB
用途 微細領域の内部構造を観測するため、収束イオンビームにより微小領域のエッチング加工を行う装置である。
仕様?特徴 ?加速電圧:最大30kV
?倍率:x150?x300,000
?像分解能:6nm
?最大ビーム電流:30nA
設置場所 分析評価室
連絡先 こちらの表をご確認ください。
■新?機器設置場所、連絡先一覧

 

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